Sebuah mikroskop elektron pemindaian (SEM) adalah mikroskop resolusi sangat tinggi yang memungkinkan seseorang untuk melihat hal-hal kecil dengan sangat detail. Ini adalah ikhtisar singkat tentang cara mengambil gambar sampel menggunakan satu. Ingatlah bahwa SEM adalah peralatan yang sangat rumit dan harus digunakan dengan sangat hati-hati. Namun, mengikuti langkah-langkah ini dengan cermat hampir akan menjamin bahwa Anda tidak akan merusak mikroskop Anda. Ada juga lebih banyak fitur yang tidak dibahas dalam artikel ini, tetapi prosedur ini menjelaskan cara mendapatkan gambaran dasar.
Artikel ini memberikan instruksi khusus untuk mikroskop JEOL JSM-6010LA. Setiap mikroskop JEOL akan memiliki kontrol yang sangat mirip dengan mikroskop yang dijelaskan dalam petunjuk ini. Mikroskop Hitachi juga akan sangat mirip, tetapi merek lain seperti Zeiss mungkin memiliki tombol kontrol di tempat yang berbeda.
Langkah
Langkah 1. Dapatkan sampel yang sudah disiapkan
Mempersiapkan sampel untuk mikroskop elektron adalah prosedur yang sangat mendalam, jadi untuk prosedur ini, gunakan sampel yang telah disiapkan untuk Anda. Jika sampel disiapkan untuk SEM, sampel tersebut harus berukuran sesuai dan juga harus memiliki permukaan yang konduktif. Karena sampel sudah disiapkan, artikel ini akan menganggapnya memenuhi kualifikasi ini.
Langkah 2. Bawa SEM ke tekanan atmosfer untuk membuka pintu sampel
Pahami bahwa SEM akan selalu menyala, dan ruang sampel akan selalu dalam keadaan vakum. Ini berarti bahwa ruangan akan benar-benar kosong dari molekul gas apa pun sehingga elektron akan memiliki jalur yang jelas menuju sampel. Tekan dan tahan tombol VENT sampai berkedip dan Anda akan mendengar bunyi klik. Tombol VENT akan terus berkedip sampai lingkungan di dalam ruangan dinaikkan ke tekanan atmosfer. Setelah tombol VENT berwarna oranye solid, ini berarti ruangan berada pada tekanan atmosfer dan Anda dapat membuka pintu.
Langkah 3. Kenakan sarung tangan
Ini sangat penting karena ruang SEM harus tetap sangat bersih!
- Dengan menggunakan pegangan di kedua sisi pintu, geser keluar pintu secara perlahan.
- Setelah pintu terbuka, ambil wadah sampel dengan hati-hati dan geser ke kanan. Ini akan terlepas dari alurnya dan sekarang Anda dapat memuat sampel Anda.
- Pada masing-masing dari empat sudut tempat sampel, ada dua sekrup yang menahan sampel di tempatnya. Longgarkan sekrup ini sedikit (setengah putaran obeng sudah cukup) dan kemudian lepaskan sampel kosong dari dudukannya.
- Anda dapat mengesampingkan sampel kosong untuk saat ini, tetapi pastikan untuk meletakkannya di atas Kimwipe dan tidak langsung di atas meja atau meja. Tempatkan sampel Anda ke dalam dudukannya, lalu kencangkan sekrupnya.
- Saat sampel Anda berada di tempatnya, lanjutkan dan geser kembali tempat sampel ke dalam alurnya pada tahap sampel.
- Sekarang Anda dapat menutup pintu dengan mendorong pintu kembali ke dalam ruangan.
Langkah 4. Sambil menahan pintu tertutup, tekan dan tahan tombol EVAC hingga mulai berkedip untuk mengembalikan ruang hampa udara
Anda akan mendengar bunyi klik, kemudian setelah sekitar satu menit Anda akan mendengar turbin pompa berputar. Pompa ini akan menghilangkan semua partikel gas dari ruang dan membawa tekanan internal sekitar 10^-6 torr. Saat tombol EVAC menyala hijau pekat, ini berarti ruangan dalam keadaan vakum. Sekarang tunggu 5 menit lagi sebelum melanjutkan ke langkah berikutnya.
Langkah 5. Setelah 5 menit, Anda siap untuk menyalakan berkas elektron dan mulai memotret
- Pergi ke komputer SEM dan perangkat lunak mikroskop harus dihidupkan. Tombol hijau di sudut kanan atas layar akan mengatakan OFF, menunjukkan bahwa berkas elektron mati. Klik untuk menyalakan balok, dan kemudian akan tertulis ON.
- Selanjutnya, klik tombol ACB (kontras dan kecerahan otomatis) dan sampel Anda akan terlihat.
- Menggunakan kenop pembesaran pada panel kontrol, perbesar ke perbesaran yang Anda inginkan. Sebaiknya lakukan pemfokusan pada perbesaran yang lebih tinggi daripada yang Anda inginkan untuk gambar Anda, oleh karena itu gambar Anda akan terlihat lebih baik saat Anda memperkecil. Misalnya, jika Anda menginginkan gambar pada 2.500x, Anda mungkin ingin fokus pada sekitar 4.000x.
- Setelah Anda memperbesar, gunakan kenop fokus untuk membuat gambar Anda menjadi fokus.
Langkah 6. Sesuaikan tinggi sampel
Sekarang sampel Anda dalam fokus, tetapi Anda mungkin melihat bahwa itu tidak terlihat sebagus yang Anda harapkan.
- Di bawah gambar sampel Anda di layar komputer, Anda akan melihat jarak kerja yang ditentukan sebagai "WD x mm" di mana x adalah angka biasanya sekitar 10-20. Perhatikan nomor ini.
- Untuk gambar yang bagus, Anda mungkin ingin menggunakan jarak kerja 10mm. Ini berarti sinar difokuskan 10mm dari lensa. Untuk mengatur jarak kerja Anda, klik "WD x mm" dan penggeser akan muncul, memungkinkan Anda untuk mengubah angka x apa pun menjadi 10. Silakan dan klik 10.
- Saat ini, tinggi sampel adalah Z=25mm. Untuk mengubah tinggi sampel, Anda akan menggunakan Z-knob. Bagian ini bisa rumit. Berapa pun jarak kerja aslinya, kurangi 10 darinya dan ini adalah berapa banyak yang Anda perlukan untuk menggerakkan tombol-Z Anda. Misalnya, jika WD Anda adalah 16 mm dan Anda mengubahnya menjadi 10 mm, Anda harus menurunkan kenop Z sekitar 6 mm. Jadi Anda akan mengubahnya menjadi sekitar 19mm.
- Saat Anda memutar kenop Z, perhatikan layar karena akan mulai fokus. Setelah fokus, gambar Anda siap!
Langkah 7. Perkecil kembali ke perbesaran yang Anda inginkan dan jika Anda ingin pindah ke area lain dari sampel Anda, Anda dapat menggunakan kenop X dan Y
Anda juga dapat menyesuaikan kontras dan kecerahan sesuai keinginan Anda. Saat Anda menemukan area yang Anda sukai, ambil gambar dengan mengklik ikon kamera yang bertuliskan "STORE". Ini akan membuka kotak dialog yang memungkinkan Anda untuk menyimpan file gambar Anda. Anda dapat memberi nama file yang Anda pilih dan menyimpannya di folder mana pun di komputer atau di flash drive.
Langkah 8. Matikan berkas elektron dengan mengklik tombol hijau bertuliskan "ON" di sudut kanan atas
Pastikan tertulis "OFF" sebelum Anda melanjutkan. Putar kenop X, Y, dan Z sehingga masing-masing nilainya 25mm. Sekarang tekan dan tahan tombol VENT sampai berkedip untuk mengembalikan ruang sampel ke tekanan atmosfer.
Langkah 9. Buka ruang sampel setelah tombol VENT berwarna oranye solid
Setelah Anda mengeluarkan sampel dari dudukan, tempatkan sampel kosong kembali ke dalam dudukan dan geser kembali ke tahap sampel. Geser pintu kembali ke posisi tertutup. Terakhir, tekan dan tahan tombol EVAC hingga berkedip. JANGAN PERNAH meninggalkan ruang SEM berventilasi, ini dapat menyebabkan kerusakan pada bagian-bagian di dalamnya. Setelah tombol EVAC menyala hijau pekat, itu disimpan untuk meninggalkan SEM.
Peringatan
- Sangat penting untuk memakai sarung tangan saat menyentuh apapun yang akan masuk ke ruang sampel!
- Tidak pernah meninggalkan ruang SEM berventilasi. Jika Anda meninggalkan SEM, pastikan tombol EVAC menyala hijau pekat.
- Jika sampel Anda belum disiapkan khusus untuk SEM, jangan masukkan ke dalam mikroskop! Beberapa sampel tidak akan muncul dengan baik, tetapi yang lain benar-benar dapat menyebabkan kerusakan pada bagian internal.
